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1959年前蘇聯學者里沃夫(В.B.ПьBOB)設計出石墨爐原子化器，1960年提出了電熱原子化法(即非火焰原子吸收法)，使原子吸收分析的靈敏度有了極大提高。

1965年威尼斯(J.B.Willis)將氧化亞氮-乙炔火焰用于原子吸收法中，使可測定元素數目增至70個。

1967年馬斯曼(H.Massmann)對里沃夫石墨爐進行改進，設計出電熱石墨爐原子化器(即高溫石墨爐)。

20世紀60年代后期發展了"間接原子吸收分光光度法"，使過去難以用直接法測定的元素和有機化合物的測定有了可能。

1971年美國瓦里安(Varian)公司生產出世界上*臺縱向加熱石墨爐，并首先發展Zeemen背景校正技術。

1981年原子吸收分析儀實現操作自動化。

1984年*臺連續氫化物發生器問世。

1990年推出世界上*進的Mark V1焰燃燒頭。

1995年在線火焰自動進樣器(SIPS8)研制成功并投入使用。

1998年*臺快速分析火焰原子吸收220FS誕生。

2002年世界上*套火焰和石墨爐同時分析的原子吸收光譜儀生產并投放市場。

現在，原子吸收分光光度計采用*的電子技術，使儀器顯示數字化、進樣自動化，計算機數據處理系統使整個分析實現自動化。

我國在1963年開始對原子吸收分光光度法有一般性介紹。1965年復旦大學電光源實驗室和冶金工業部有色金屬研究所分別研制成功空心陰極燈光源。1970年北京科學儀器廠試制成WFD-Y1型單光束火焰原子吸收分光光度計。現在我國已有多家企業生產多種型號、性能較先進的原子吸收分光光度計。

原子吸收分光光度法應用也有一定的局限性，即每種待測元素都要有一個能發射特定波長譜線的光源。原子吸收分析中，首先要使待測元素呈原子狀態，而原子化往往是將溶液噴霧到火焰中去實現，這就存在理化方面的干擾，使對難溶元素的測定靈敏度還不夠理想，因此實際效果理想的元素僅30余個;由于儀器使用中，需用乙炔、氫氣、氬氣、氧化亞氮(俗稱笑氣)等，操作中必須注意安全。